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文章来源:monchina 上传日期:2017-09-06 浏览次数: 次

砷化镓(GaAs)为基础的光纤测温装置(fotemp)是半导体晶片制造过程中非常理想的温度监控手段,拥有广泛的温度测量范围,从-200°C ~ + 300°C和高精度+ / - 0.2°C.

对生产车间内部的洁净和安全性的严格要求是我们此项测温技术的大前提。测温探头完全免疫射频和电磁干扰,保证了Optocon光纤探针在一个接近零维护成本的情况下对每一块硅片的准确测温。

通过定制与测量系统的安装,Optocon可灵活的配置。我们的光纤测温系统可延伸至几百米外的监控室,但是却不影响测量的精确度。

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